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    激光器

    產品特點:IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統,應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

    更新時間:2024-01-31

    產品型號:IXION 193 SLM

    訪問量:552

    IXION 193 SLM激光器的詳細資料:

    IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統,應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

    該系統的中心波長可定制,范圍在185至194 nm之間,并可在訂購時配置為固定波長。

    另外,系統還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對激光光譜調諧的控制具有最大的精度。

    可選

    • 圖形用戶界面

    • LabView庫

    • 精密光譜儀

    • 中心波長:185 ~ 194 nm

    • 符合CDRH的快門

    IXION 193 SLM 激光器應用

    • 193 nm 計量

    • 光譜儀校準

    • 干涉度量

    • 準分子種子源

    IXION 193 SLM

    波長193.368 nm
    平均功率10 mW
    脈寬typ.8~2ns
    脈沖能量1.6 µJ
    重頻1~15 kHz
    光束質量M2 < 1.6
    光譜帶寬< 80 MHz
    光譜可調諧性> 10 pm
    相干長度> 2 m
    脈沖穩定性σ < 2.5 %


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